Vakua karburigado estas varmigi la laborpecon en vakuo.Kiam ĝi atingos la temperaturon super la kritika punkto, ĝi restos dum tempodaŭro, degasos kaj forigos la oksidan filmon, kaj poste eniros la purigitan karburigan gason por karburigado kaj disvastigo.La karburiga temperaturo de vakua karburado estas alta, ĝis 1030 ℃, kaj la karbura rapido estas rapida.La surfaca aktiveco de karburitaj partoj estas plibonigita per degasado kaj maloksidigo.La posta disvastigrapideco estas tro alta.Karburado kaj disvastigo estas farataj ripete kaj alterne ĝis la bezonata surfaca koncentriĝo kaj profundo estas atingitaj.
Malplena karbura profundo kaj surfaca koncentriĝo povas esti kontrolitaj;Ĝi povas ŝanĝi la metalurgiajn ecojn de la surfaca tavolo de metalaj partoj, kaj ĝia efika karburiga profundo estas pli profunda ol la reala karburiga profundo de aliaj metodoj.